質量流量控制器實現穩定的流量控制

2021-10-26 15:04:38
本文關鍵字：質量流量控制器

　　質量流量控制器外殼由金屬制成，可高度配置?？砷L期穩定性和可重復的測量和控制質量流量，具有優異的精度、寬動態范圍、數字和模擬接口、靈活機械連接選項、多氣體配置等等特點，還可覆蓋寬動態測量范圍。

　　質量流量控制器可使用各種電氣接口和各種流體連接件，測量50 sccm到200 slm的流量。傳感器信號可在芯片上直接轉換成100%校準和經溫度補償的數字信號。多氣體校準可存儲在單個器件上。此外，流量控制器還可檢查激活的氣體校準與實際氣體是否匹配。

　　質量流量控制器依賴創新的CMOSens技術，與所有傳感器產品一樣，在一個CMOS硅芯片上集成了模擬和數字處理電路及高精度傳感器元件，可保證優異的性能。配合優質材料，可實現穩定、快速和高度精確的流量控制。同時其通用性使之成為了工業和醫療應用的合適的解決方案，由此可以在醫療行業中得到較廣的應用。比如可在這些場所中應用：分析儀器如氣相色譜、質譜、熱分析；工業過程自動化如涂覆、熱處理；半導體行業如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積；醫療器械如呼吸機、麻醉機。